＜講演概要＞
　慣性空間に対する角速度を計測する「ジャイロ」は１８５１年フーコー
（Foucault）による「振り子」を用いた地球自転の検証、翌１８５２年の
回転円板による地球自転の検証と
「ジャイロスコープ：回転（ジャイロ）・見る（スコープ）」の命名以来
急速な進歩を遂げた。
　一方、半導体製造技術の進歩とともに急速な拡がりを見せるＭＥＭＳ技
術は、これらの「ジャイロ」の小型化、大量生産に大きく寄与し、特殊な
センサと認識されがちであった「ジャイロ」の一般化を加速している。
ＭＥＭＳ技術を用いた「マイクロジャイロ」は現在実用化されているほぼ
全てが「振動ジャイロ」に分類される形式であるが、本稿ではトキメック
で開発した高精度化可能な「浮上・回転型マルチ出力慣性センサ」につい
て概説する。（本センサはＳｉ製のリング型回転体（直径1.5ｍｍ）を静電
力で浮上させ、非接触で高速回転(74,000ｒｐｍ以上)させることにより２
つの軸回りの角速度を検出し、同時にロータを支持する力から３方向の加
速度をも検出可能な「マルチ出力慣性センサ」である。）